NGRÀº µ¶ÀÚÀûÀÎ ConceptÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼°Ë»çÀåÄ¡¸¦ °³¹ßÇϱâ À§ÇØ 2000³â¿¡ ¼³¸³µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶´Â, Áö±Ý 45nm¿¡¼ 32nm½Ã´ë·ÎÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ °³¹ß³ë·ÂÀÌ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª, Áö±Ý±îÁö
¼¼°è¿¡¼ ³Î¸® »ç¿ëµÇ¾î ¿Â Optical baseÀÇ °áÇÔ°Ë»çÀåÄ¡°¡ ¹°¸®ÀûÀÎ °ËÃâÇѰ迡 À̸£°í ÀÖ´Â »óȲ¿¡¼
Design, OPC, Mask, Scanner·Î °è¼ÓµÇ´Â ÇÁ·Î¼¼½º»óÀÇ Á¦Ç°¼öÀ²È®º¸°¡ ÃÖ´ëÀÇ °ü½É»ç·Î
ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹è°æÀ¸·Î ÀÎÇØ, NGRÀº ¼³¸³ ÀÌ·¡, Optical baseÀÇ °áÇÔ°Ë»çÀåÄ¡°¡
¹Ù²î¾îÁ®¾ß¸¸ ÇÑ´Ù´Â ÀüÁ¦ÇÏ¿¡, ƯÇã ÃëµæµÈ °í¼ÓÈ»ó°èÃø±â¼ú, ÀüÀÚbeam±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© Wafer ¶Ç´Â
Mask»óÀÇ NanoÀÇ °áÇÔÀ» ÀÌÂ÷¿ø»ó¿¡¼ °í¼ÓÀ¸·Î °ËÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Á¦Ç°À» Á¦Á¶ÇÏ¿´À¸¸ç, World
Market¿¡¼ ÃÖ°í°¡ µÇ±â À§ÇØ ³ë·ÂÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.