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NTI의 FCVA Source는 초박막 메탈 필름 성막을 위해 사용되며, 대부분의 메탈 재료로는 CU, AL, Ti, W 등이 있습니다.
이 메탈 FCVA Source는 산업용 응용 분야에 사용되고 있으며, 높고 조정 가능한 이온 에너지에 의해, 이용자 분들은 보다 균일하여, 집적성 높은 박막 메탈 필름을 실현 할 수 있습니다.